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產品中心高精度電動平移臺系列壓電陶瓷納米臺壓電陶瓷納米臺 XYZ平移臺HE-NMXYZ100
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產品參數:
| 型號 | HE-NMXYZ100 |
| 運動軸 | X. Y. Z |
| 集成傳感器 | SGS |
| 標稱行程范圍(@0~+120V) | 100 μmx100 μm x 500 μm |
| zui大行程范圍(@-20~+150V) | 110μm x 110 μm x 540 μm |
| 分辨率 | (XY) 3 nm、(Z) 14nm |
| 最小移動步長 | (XY) 3.5 nm、(Z) 17 nm |
| 線性誤cha | 0.05% |
| 重復定位精度（全行程） | 0.05% |
| 角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉) | 20 μrad |
| 承載能力 | 5N |
| 諧振頻率 | (XYZ) 300 Hz、260 Hz、250 Hz |
| 運動方向剛度 | 0.5 N/μm |
| 運動方向推力/拉力 | 20N/3N |
| 驅動機構 | PZT |
| 工作溫度范圍 | -20~+80°℃ |
| 線纜長度 | 1.5m |
| 中空尺寸 | —— |
| 外形尺寸（長x寬×高） | 90x 90x30mm |
| 重量 | 390 g |
| PZT&Sensor連接器 | LEMO |
| 材質 | 鋁 鋼 |
產品尺寸：
高精科技有限責任公司是一家集光學、精密機械、自動化控制等技術于一體的高科技自主研發企業，一直服務于科研大專院校，根據不同客戶需求，研發配套軟硬件系統產品，涵蓋光學元器件、精密機械部件、自動控制、等大類通過長期的不懈努力、對光路搭建系統的工藝把控和對客戶的優良服務，在科研、大專院校、機械自動化等諸多領域成長為廠商。公司的長焦鏡頭，自動化機械控制臺、手動控制臺、高亮度光源等產品，產品注重模塊化,集成化，已形成量產，規格全、提供長期穩定的服務、同時提供定制服務。
目前主要產品：中空顯微掃描平臺 中空轉臺 直線電機平臺 電動旋轉臺 電動六維臺 六維調節平臺 六軸干涉儀調整架 六軸鏡架 手動升降臺 角度調節臺 方位調節臺 電動升降臺 三軸調節臺 XYZ調節臺 光學平臺 光學平板 拉伸平臺 傾斜臺 高真空電動平臺 真空平臺 光學平臺 面包板 電動角位臺 手動角位臺 長工作距物鏡 大數值孔徑物鏡。
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